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　　低溫等離子工業(yè)廢氣處理設(shè)備與技術(shù)是一項集物理、化學(xué)、生物、環(huán)境科學(xué)于一體的交叉集成電子化學(xué)技術(shù)，由于其具有易于污染物分子有效分解、處理能耗低等特點，成為國內(nèi)外最具發(fā)展前景的大氣污染控制技術(shù)之一。該工藝應(yīng)用廣泛，有較大的推廣價值，為工業(yè)領(lǐng)域中VOC有機廢氣及惡臭氣體的治理提供了新的思路。
　　1、主要采用脈沖高頻高壓等離子電源線和雙介質(zhì)齒板式電源線裝置，以端子式電形式產(chǎn)生高濃度離子。它是一種聚集材料，其高能電子可在幾毫秒內(nèi)瞬間穿透空氣和排出分子，并發(fā)生一系列分化裂化反應(yīng)，產(chǎn)生高濃度、高強度、高能量活化自由度。堿類與各種電子、離子等，與機械廢氣中的分子發(fā)生一系列物理和化學(xué)反應(yīng)，在反應(yīng)過程中產(chǎn)生各種活性自由基和生態(tài)氧，即由原子氧產(chǎn)生的分解產(chǎn)物。
　　2、活動性自由基能有效破壞各種病毒和細菌中的核酸和蛋白質(zhì)，阻止正常的新陳代謝和生物合成，從而導(dǎo)致它們的死亡；生態(tài)氧能迅速含有大量有機廢氣分子。高能電子，正、負離子，激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基。該活性粒子與一些廢氣分子碰撞，同時產(chǎn)生大量的OH、HO2、O等活性自由基和極強氧化O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成無害產(chǎn)物。